凈化車間的標(biāo)準(zhǔn)介紹 |
發(fā)布者: 發(fā)布時(shí)間:2024/11/2 9:01:19 點(diǎn)擊:317 |
凈化車間,又稱潔凈室,是用于控制生產(chǎn)環(huán)境中的微粒污染、溫度、濕度、壓力、氣流速度和分布、噪音等參數(shù),以達(dá)到特定潔凈度要求的特殊空間。其標(biāo)準(zhǔn)主要依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644系列和美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E。 ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室的潔凈度分為九個(gè)等級,從ISO1到ISO9。每個(gè)等級都對應(yīng)特定的微粒濃度限值。例如,ISO1等級的潔凈室在0.1微米粒徑下,每立方米空氣中允許的微粒數(shù)不超過10個(gè)。 FS209E標(biāo)準(zhǔn)則將潔凈室分為若干個(gè)等級,從Class1到Class100,000,每個(gè)等級都規(guī)定了每立方英尺空氣中特定粒徑微粒的數(shù)量。例如,Class100潔凈室在0.5微米粒徑下,每立方英尺空氣中允許的微粒數(shù)不超過100個(gè)。 除了潔凈度標(biāo)準(zhǔn),凈化車間的設(shè)計(jì)和運(yùn)行還需遵循以下原則: 1.空氣過濾:使用高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)來去除空氣中的微粒。 2.正壓控制:保持潔凈室相對于外部環(huán)境的正壓,防止外部污染空氣的滲入。 3.氣流組織:采用層流或亂流方式控制氣流,以減少微粒的擴(kuò)散和沉積。 4.材料和設(shè)備:使用低發(fā)塵材料和設(shè)備,減少微粒的產(chǎn)生。 5.人員管理:人員需經(jīng)過培訓(xùn),穿戴適當(dāng)?shù)臐崈舴?,并通過風(fēng)淋室等設(shè)施減少帶入的微粒。 6.監(jiān)測和維護(hù):定期監(jiān)測潔凈室的潔凈度和其他環(huán)境參數(shù),并進(jìn)行必要的維護(hù)和清潔工作。 凈化車間廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療器械、食品加工、精密制造等行業(yè),以確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)過程的可靠性。 |
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